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PT-5SMT
腔體材質：石英耐熱玻璃
供電電源： AC220V
工作電流： 整機工作電流不大於1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-200W / 0-300W可調（射頻匹配一體）
射頻頻率： 13.56MHz
頻率偏移量： 小於0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 1pa-30Pa
氣體路數： 雙路氣體輸入（高精密浮子流量計）
氣體流量： 10—160ml/min(可調)
過程控製： PLC人機界麵自動與手動方式
清洗時間： 1-9999秒鍾可調
功率大小 10%-100可調
內腔尺寸 Φ150×270Lmm     5L
外形尺寸： 560×540×550mm L×W×H
真空泵： 飛越真空泵VRD-4 （含油霧過濾器）
真空室溫度： 小於30°C

冷卻方式： 強製風冷


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